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类目 |
典型值 |
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晶型 / 尺寸 |
4H-p、3C 4或6英寸 |
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CMP晶面 |
(0001)Si晶面 |
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偏角 |
偏[11-20]4度 |
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导电性 |
n型 / p型 |
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掺杂 |
氮 / 铝 |
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载流子浓度 |
范围 |
1E15 ~ 5E16 cm-3 |
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容忍度 |
±15% |
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均匀度 |
≤10% |
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厚度 |
范围 |
5 ~ 100 μm |
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容忍度 |
±10% |
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均匀度 |
≤4% |
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表面粗糙度 |
≤ 2 nm |
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注释：
厚度及载流子浓度测试方法通常为9点（去边=5mm)（如图），客户可指定测试方法。
① 载流子浓度使用MCV测试仪进行测量。
② 厚度使用红外光谱仪进行测量。
③ 表面粗糙度使用原子力显微镜进行测量，扫描尺寸为10×10 μm2。
*注：我司可根据客户定制参数更严格的外延片。
